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压力传感器无法避免的误差

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1、偏移量误差

由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。

2、灵敏度误差

产生误差大小与压力成正比,如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数;如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数;该误差的产生原因在于扩散过程的变化。

3、线性误差

这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性,线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线。

4、滞后误差

在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度,一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
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